上海微电子光刻机龙头，中国第一台光刻机产品的诞生，离不开上海微电子的努力，也是为我国光刻机打破国外的封锁立了霍霍战功，但精密的光刻机不是一家人完成的，一台光刻机包含了十万多个零部件。科技的复杂程度可想而知。-
但是在光刻机领域，ASML掌握着极紫外（EUV）光刻等先进的技术。EUV光刻机以波长为10-14纳米的极紫外光作为光源，能够在晶圆上“雕刻”出极其精细的电路，是制造14纳米及以下先进制程芯片的关键设备。
- ASML的EUV光刻机技术复杂且具有极高的精度要求，其光学精度非常高，生产难度极大，这也使得该公司在高端光刻机市场几乎处于垄断地位。但阿斯麦的光刻机被美国制裁禁止出口中国，所以我国要生产出自己的光刻机，就得在众多企业的努力下共同合作完成，这时候就诞生了光刻机零部件系列的供应商。
光刻机是高度复杂的精密设备，涉及到光学、机械、电子等多个领域的先进的技术和众多高精度的元器件。所以要几十家上百家企业的合作，就算是荷兰的光刻机阿斯麦，他生产的光刻机也是从全世界各个国家进口元器件才能完成光刻机的制造，那么，我国也有很多光刻机零部件的制造公司，上海微电子有以下一些战略合作伙伴：
1. 海立股份：2021 年 10 月 26 日，海立集团与上海微电子装备集团举行战略合作协议签约仪式。双方将在封装光刻机冷却系统配套、产品联合开发、跨专业的复合型人才教育培训等多方面进行合作，为越来越好的培养光刻机人才，两家企业为未来的人才做储备，互相以各自方面的优势培养优秀的人才，为将来研发更高端的光刻机做好储备，并且计划开展共建联合实验室等全系统、全方向、多领域的合作。上海电气集团是海立股份的控股总公司，同时也是上海微电子的大股东，这使得两家公司在资本层面也存在关联。这也离不开大股东。上海国资委的撮合，整合两家的资源，一起发展光刻机。
2. 张江高科：也是上海国资委旗下的子公司，张江高科持有上海微电子特殊的比例的股权，这使得两者存在紧密联系。相互合作，为光刻机提供零部件并且张江高科旗下的一些公司可能与上海微电子在业务上有一定的合作伙伴关系。张江高科本身并不直接生产光刻机的零部件，而是通过投资等方式参与到光刻机产业相关的业务中。其主要在光刻机产业链中起到的是一种产业推动和投资支持的作用。
3. 富创精密：作为国产半导体设备零部件龙头，已进入全球光刻机龙头 ASML 供应链体系，也是上海微电子的供应商，为上海微电子提供半导体设备零部件。
4. 苏大维格：该公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品，在有关技术和产品供应上与上海微电子有合作。
5. 茂莱光学：茂莱光学的 DUV 光学透镜为上海微电子供货，是上海微电子在光学部件方面的合作伙伴。
6. 炬光科技：间接供货光刻机巨头 ASML，已确定进入上海微电子等客户供应体系，为上海微电子提供激光退火系统和核心元器件等。
7. 金力泰：其全资子公司上海金杜是上海微电子的合格供应商，向上海微电子提供应用于其产品零部件的表面处理服务。
以上这一些企业都是为光刻机龙头提供零部件的公司，他们一直在为我国的光刻机事业做出贡献，一旦我国的光刻机大批量生产，他们也将会随之而受益。大家通过不懈的努力生产更精密，更高端的零部件产品，其中有些公司不断给中国提供零部件，而且还是国际上半导体产业重要的零部件供应商，边生产边研发，提升个人的技术产能，丰富自己的产品，为将来在国际上占有一席之地，他们在不懈的努力，早日实现光刻机国产替代。
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